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漏液検知帯の耐薬品性を強化。K7L-AT50B/AT50DBは制御盤の価値を高める"Value Design for Panel"対応。
しかも検知レンジは4段階に設定できるため、液体に合わせた検出が可能。
交流検出方式
検出帯への信号供給は交流を採用しているため電触を起こさず安全。
多チャンネル使用
電源回路部と検出回路部の絶縁により同一箇所への複数設置が可能。酸性やアルカリ性などの耐性をアップ。
CMP装置の計量槽の漏液検出
ドレインパンへの液漏れを検出し、装置の破損やウエハの洗浄不良を防止。
高感度による精度の高いレベル制御で洗浄不良を防止。K7L-AT50 漏液検出器 K7L-AT50/-AT50D omron(オムロン) 全長12.8。半導体製造装置から食品加工機まで幅広い用途に対応。未来工業(MIRAI) 正方形防水プールボックス(カブセ蓋・ノック無) ミルキーホワイト (1個価格) PVP-2010BM。エスコ 50-1000VAC検電器(ボルトスティック) EA707D-1。
電極間抵抗検知方式
50MΩインピーダンス液体から一般水まで安定検出。IDEC ターミナルカバー 幅39.6mm長さ1m 10個入り BNC230*10。摂津金属工業 サポートアングル W57.5×H44.4×D520mm ブラック NPSAF-52。
専用防爆バリア(別売)
危険雰囲気中で、漏液検出器の使用可能な小型専用防爆バリアをシリーズ化。オムロン(OMRON) 小型デジタルパネルメータ 48×24×83mm K3GN-NDT1 DC24V。IDEC(アイデック) モノレバースイッチ HWシリーズ φ22 HW1M-0202-40。
ノイズキャンセラー(PAT)
3芯ケーブルを応用したノイズキャンセル回路により、ノイズ耐性に優れた検出を実現。東京富士商会 1号鋼芯引留金物 T-1K (50個入)。オムロン(Omron) バッテリ(CPM2A-BAT01)。
薬品性に優れた漏液検知帯
電極部にSUS316、絶縁被覆部にポリエチレンを採用。ヘラマンタイトン マーカープレート IMP-2.5_100個入り。40mm x 1 m 発泡ポリエチレン丸棒 (10本) EA930PB-40。
薬液タンクのパイプ継手部の漏液検出
パイプの継手部など漏液の可能性のある部位に検知帯を巻き付けて液漏れを検出。エスコ (Esco) 危険予知活動ボード 450x600mm EA983BT-16。オムロン(OMRON) XS2R-D426-5 Y字形ジョイント プラグ/ソケット 両側コネクタ NN。
メッキ装置の洗浄水レベル検出
洗浄槽内の純水のレベルを検出。未来工業:通気スイスイ mini ワントラップ用(キッチン・流し用) <VVD> 型式:VVD-40Y。ネグロス電工 アングラック がいし支持金具 A1L 20個入り。
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